热式气体质量流量计（Thermal Gas Mass Flow Meter）作为精准测量气体质量流量的关键设备，其核心技术基于热扩散原理，无需温度和压力补偿即可直接输出质量流量数据，这一特性使其在工业领域备受青睐。其传感器由两个基准级热电阻构成，一个作为加热器（RH）维持恒定温度，另一个作为温度传感器（RMG）监测气体初始温度，当气体流经加热器时会带走热量，导致两者形成温差。
该设备的测量逻辑遵循金氏定律（King’s Law），数学表达式为P/△T=K1+K2√Q（其中P为加热功率，△T为温差，Q为质量流量，K1-K3为气体物性相关常数），通过监测加热功率或温差变化即可精准计算流量。根据控制方式不同，可分为恒温差法和恒功率法两类：前者保持温差恒定，通过加热功率变化反映流量；后者固定加热功率，利用温差波动计算流量。
其结构设计分为插入式、管段式和毛细管式三种，分别适配大管径工业场景、小管径洁净环境及实验室微小流量测量需求。相较于传统流量计，其优势显著：量程比可达100:1，能适应0.01m/s至180Nm/s的宽流速范围，且无机械运动部件，使用寿命延长30%以上，维护成本降低40%。
在实际应用中，需注意气体洁净度和成分对测量精度的影响，针对不同气体需进行针对性校准以匹配热物性参数。目前主流品牌如西门子SITRANS FUE系列、Bronkhorst微小流量专用型号等，均通过优化传感器材质（如采用MEMS芯片）进一步提升了测量精度和响应速度。
